吴德馨，中国科学院微电子中心研究员、博士生导师，中国科学院院士，半导体器件和集成电路专家。

   1961年毕业于清华大学无线电电子工程系。主要从事化合物半导体异质结晶体管和电路的研究，包括0.1微米砷化镓/铝镓砷异质结高迁移率场效应晶体管、砷化镓/铟镓磷HBT晶体管、氮化镓/铝镓氮异质结场效应功率晶体管和研制成功砷化镓/铟镓磷HBT光发射驱动电路。曾获国家和中科院一等奖3项。1992年被国家科委聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。曾任国家重大科技攻关课题负责人，攀登计划首席科学家。